GB/T 22462-2008 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法

标  准  编  号：GB/T 22462-2008 
简体中文标题：钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法 
繁體中文標題：鋼表面納米、亞微米尺度薄膜 素深度分布的定量測定 輝光放電原子發射光譜法 
English Name：Nano Sub-micron scale film on steel - Quantitative depth profile analysis - Glow discharge atomic emission spectrometry

标准简介：
本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜（金属镀膜和氧化膜）中膜厚、镀层质量（单位面积）和薄膜中的元素深度分布。
本方法适用于测定3nm～1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括：铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。。