GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
- 名称：GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
- 类型：其他标准
- 大小：461 KB
- 更新时间：12-01 20:05:03
- 下载次数：9931次
- 语言：简体中文
- 推荐度：
- 上传会员ID：2210525
《GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢》下载简介
标准编号：GB/T 14851-2009
简体名称：电子工业用气体 磷化氢
繁体名称：電子工業用氣體 磷化氫
英文名称：Gas for electronic industry—Phosphine
标准简介：
本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
标签:其他标准，GB/T国家标准 - 其他标准
- GB/T 30812-2014 燃煤电厂用玻璃纤维增
- GB/T 26934-2011 集装箱电子标签技术
- GB/T 25322-2010 消费品安全标签
- GB/T 23701-2009 人-系统交互人类工效
- GB/T 7988-2013 搪玻璃釉 耐碱性溶液
- GB/T 4340.1-1999 金属维氏硬度试验
- GB/T 4325.22-2013 钼化学分析方法 第
- GB 31117-2014 船用辅锅炉安全技术要
- GB/T 25996-2010 绝热材料对奥氏体不
- GB 11968-2006 蒸压加气混凝土砌块
- GB 17930-2013 车用汽油
- GB/T 18608-2012 原油和渣油中镍、钒
- GB/T 23508-2009 食品包装容器及材料
- GB/T 29418-2012 塑木复合材料产品物
- GB/T 28901-2012 焦炉煤气组分气相色