当前位置：518建筑网 →标准下载 → GB/T国家标准 → 其他标准→GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫 -- 下载

GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫

《GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫》下载简介

标准编号：GB/T 18867-2002
简体名称：电子工业用气体六氟化硫
繁体名称：電子工業用氣體六氟化硫
英文名称：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

标准简介：
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。

，GB/T 18867-2002 电子工业用气体六氟化硫的文件大小为227 KB，本站还有大量关于其他标准方面的资源提供下载哦。为下次能方便快速的找到本站，记得收藏我们的网址（http://www.jianzhu518.com）哦！

下载地址

标签:其他标准，GB/T国家标准 - 其他标准

打印此文返回顶部

GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫